多工藝VS精度VS速度:如何同時(shí)兼顧設(shè)備“鐵三角”,提效半導(dǎo)體封裝生產(chǎn)?
2025-09-28(54)次瀏覽
當(dāng)下半導(dǎo)體封裝環(huán)境正面臨著一個(gè)巨大的矛盾,即日益增長(zhǎng)的復(fù)雜產(chǎn)品需求,與僵化的傳統(tǒng)制造能力之間的矛盾。具體來(lái)說(shuō),該矛盾主要體現(xiàn)在兩個(gè)方面:一是半導(dǎo)體封裝的多工藝上,二是現(xiàn)在主流的半導(dǎo)體貼片結(jié)構(gòu)上。
一、多種封裝工藝需求:
“單機(jī)單工藝”現(xiàn)象普遍,企業(yè)資本負(fù)擔(dān)加重
半導(dǎo)體封裝后道工序涉及多種基板材料(引線框架、PCB、陶瓷、玻璃等)和復(fù)雜的互聯(lián)工藝(裝片、鍵合等)。不同的材料和工藝對(duì)設(shè)備的要求截然不同,這就導(dǎo)致了當(dāng)下“專機(jī)專用”的普遍現(xiàn)象。
引線框架封裝常見(jiàn)的工藝是銀漿粘貼和共晶工藝。它面臨著換線繁瑣的痛點(diǎn):一條產(chǎn)線需要隨時(shí)切換銀漿粘貼產(chǎn)品和共晶焊產(chǎn)品的生產(chǎn)。這兩種工藝設(shè)備完全不同(共晶焊需要加熱臺(tái)、真空吸附和高溫吸嘴),而工藝的切換意味著整臺(tái)設(shè)備的更換、重新調(diào)試和校準(zhǔn),耗時(shí)長(zhǎng)達(dá)數(shù)小時(shí)甚至更久。

PCB基板封裝的常見(jiàn)工藝是銀漿粘貼和多種芯片集成,其中“多種芯片集成”是最大的挑戰(zhàn)。一顆復(fù)雜的芯片(如SiP系統(tǒng)級(jí)封裝)可能同時(shí)包含邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、射頻芯片等。這些芯片可能來(lái)自不同晶圓、厚度不同、大小不同,甚至要求不同的粘貼工藝,如何處理這些繁雜的來(lái)料是一個(gè)重要課題。

3、陶瓷基板封裝
在航空航天、軍工產(chǎn)品生產(chǎn)中,需要用到許多不同的工藝,如:銀膠、共晶、超聲、鍵合等。
它不僅要面臨工藝多樣化的問(wèn)題,同時(shí)鍵合需要長(zhǎng)時(shí)間的高溫高壓,對(duì)設(shè)備的熱管理、材料熱膨脹控制、精密力控都是巨大挑戰(zhàn)。

面臨多樣化的基板以及多樣化的工藝,對(duì)于許多封裝廠商來(lái)說(shuō),“專機(jī)專用”是當(dāng)下的“第一解題思路”,但并非是“最優(yōu)解題思路”。它造成巨大的資本浪費(fèi),不僅無(wú)法適應(yīng)訂單波動(dòng)和工藝迭代的常態(tài),其僵化的產(chǎn)線還迫使企業(yè)必須為每一種新產(chǎn)品或新工藝追加投資購(gòu)置專用設(shè)備。因此,如何突破重復(fù)投資的困境,已成為關(guān)乎企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的核心議題。
二、主流貼片結(jié)構(gòu)的問(wèn)題:
無(wú)法同時(shí)兼顧三大需求,影響生產(chǎn)產(chǎn)能
除了“專機(jī)專用”現(xiàn)象,半導(dǎo)體封裝面臨的矛盾的第二大方面便出現(xiàn)在結(jié)構(gòu)上。在經(jīng)濟(jì)學(xué)中有一個(gè)專有名詞叫做“不可能的三角”,這在半導(dǎo)體封裝中也同樣適用,半導(dǎo)體封裝中的不可能三角通常指“精度”“速度”和“工藝適應(yīng)性”三者之間的不平衡。如何解決這“不可能三角”,使其變成“工藝鐵三角”,是每一個(gè)封裝行業(yè)人需要思考的問(wèn)題。

效率與精度
要獲得高效率意味著運(yùn)動(dòng)部件需要極大的加速度,但這會(huì)產(chǎn)生巨大的慣性力,導(dǎo)致機(jī)械結(jié)構(gòu)發(fā)生難以避免的彈性形變和振動(dòng)。如果運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的激勵(lì)頻率恰好與設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)的某階固有頻率吻合,就會(huì)引發(fā)劇烈共振,影響精度。
因此,卓興半導(dǎo)體運(yùn)動(dòng)控制團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)更先進(jìn)的力矩前饋和振動(dòng)抑制算法來(lái)解決:
①對(duì)于簡(jiǎn)單的點(diǎn)位運(yùn)動(dòng),我們通常采用基于運(yùn)動(dòng)學(xué)的PID控制。
②為了提高響應(yīng)速度并抵消重力,系統(tǒng)采用了基于動(dòng)力學(xué)的力矩前饋和慣量辨識(shí)。
③為了解決高速下的抖動(dòng)問(wèn)題,工程師們實(shí)施了基于振動(dòng)學(xué)的滑模變結(jié)構(gòu)控制算法。

解決方案:力矩前饋和振動(dòng)抑制算法
每一種新工藝都會(huì)引入獨(dú)特的干擾源,更換不同材質(zhì)或重量的吸嘴/工具,會(huì)改變運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性。要維持高精度,設(shè)備必須為每一種可能的工藝配置和工具組合建立獨(dú)立的誤差補(bǔ)償模型。
因此,卓興半導(dǎo)體采用平面轉(zhuǎn)塔式貼裝架構(gòu),完美補(bǔ)充這個(gè)缺陷:
不同的物料擁有獨(dú)立的上料系統(tǒng),能夠做到支持多種物料混合鍵合和混合貼裝。
在貼裝架構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中的其中一個(gè)工位安裝中轉(zhuǎn)臺(tái)和視覺(jué)檢測(cè)機(jī)構(gòu),實(shí)時(shí)確保貼裝精度,保證生產(chǎn)精度。


效率與工藝適應(yīng)性
設(shè)備在不同來(lái)料間切換時(shí),需要換線時(shí)間來(lái)更換吸嘴、校準(zhǔn)高度、調(diào)整工藝參數(shù)。這個(gè)過(guò)程非常耗時(shí),嚴(yán)重拉低了整體設(shè)備效率。而專用設(shè)備則無(wú)需換線,可以持續(xù)高速生產(chǎn),但同時(shí)也完全舍棄掉了多工藝適應(yīng)的能力。
因此,卓興半導(dǎo)體架構(gòu)提出了兩個(gè)概念:
模塊化設(shè)計(jì):將不同工藝模塊做成即插即用的標(biāo)準(zhǔn)單元,使得工藝的更換只需要快速更換模組,解決了專機(jī)專用的適應(yīng)性問(wèn)題。
平面轉(zhuǎn)塔架構(gòu):不同工位的不同吸嘴應(yīng)對(duì)不同的來(lái)料,解決了多物料集成的效率問(wèn)題。

解決方案:平面轉(zhuǎn)塔結(jié)構(gòu)
三、高精度封裝設(shè)備:
破局設(shè)備“多工藝適應(yīng)性”與“不可能三角”難題
針對(duì)多工藝生產(chǎn)需求帶來(lái)的“專機(jī)專用”難題,和設(shè)備在精度、速度與工藝適應(yīng)性之間的難以維持三者平衡的矛盾,卓興半導(dǎo)體獨(dú)立研發(fā)兩大新型設(shè)備——高精度多功能貼片機(jī)和半導(dǎo)體銀膠粘片機(jī),通過(guò)模塊化設(shè)計(jì)、平面轉(zhuǎn)塔結(jié)構(gòu)以及先進(jìn)的力矩前饋和振動(dòng)抑制算法,助力破解設(shè)備的多工藝適應(yīng)性難題,并找到最適合當(dāng)前技術(shù)目標(biāo)的最佳平衡點(diǎn),突破同時(shí)實(shí)現(xiàn)“不可能三角”的難度,把不可能三角變成鐵三角。

關(guān)于我們
由國(guó)際領(lǐng)先的運(yùn)動(dòng)控制專家團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立,并匯聚了業(yè)內(nèi)一流的封裝技術(shù)專家,承載了20 余年技術(shù)沉淀與市場(chǎng)實(shí)踐,專注于高精密半導(dǎo)體裝備研發(fā)、制造及銷售的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、專精特新“小巨人”企業(yè)。
公司主營(yíng)產(chǎn)品為半導(dǎo)體封裝設(shè)備、功率器件封裝設(shè)備、Mini LED晶片轉(zhuǎn)移設(shè)備、智能化控制設(shè)備及半導(dǎo)體封裝制程管理系統(tǒng)等。
公司致力于為客戶提供一站式半導(dǎo)體封裝制程整體解決方案,產(chǎn)品擁有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),多款設(shè)備都屬業(yè)內(nèi)首創(chuàng)。
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