特點:
1. 雙臂固晶,角度可調,可選配點膠功能;
2. 載具下沉式設計,可全程帶載具工藝實現;
3. 采用大理石機臺具有更高的穩定性;
4. 采用直線電機模組具有更高的耐用性;
5. 具備真空漏晶檢測和吸嘴防堵設計;
6. 真空固晶平臺和表面平整度修正設計;
7. 并聯式連線,實現后進后出自動上下板;
8. 取晶平臺可選配晶圓環自動校正;
9. 自研軟件運控平臺,設備智能化操作;
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